結構特點：

單級式減壓結構

膜片與母體采用硬密封形式

母體接口螺紋：1/4” NPT(F)

安全壓力：1.5倍的最大輸入壓力

適用溫度：-40oF ~ 165oF(-40oC ~ 74oC)

泄露率：2 x 10-8 atm.cc/sec He

CV：0.14

重量：0.9 kg(2.0 lbs)

材質

母體：銅電鍍，316L

閥座：PCTFE，PTFE，Vespel?

膜片：316L , Hastelloy? 哈氏合金

適用范圍

半導體制程、實驗室、氣相分析、測試儀表、石油化學工業、電廠設備