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PECVD設備的scrubber的作用和分類(lèi)以及安裝位置

2020-03-21 09:25:58    責任編輯: 沃飛科技     0

PECVD設備的scrubber的作用和分類(lèi)以及安裝位置

PECVD設備接scrubber是干什么用的?scrubber 一般接在什么位置?下面由沃飛科技來(lái)為大家簡(jiǎn)單的講解一下CVD設備的scrubber的作用和分類(lèi)以及安裝位置。
Scrubber基本上是專(zhuān)為PECVD設備的尾氣處理而設計的一種設備,PECVD尾氣一般含有大量Particles以及棘手的未反應易爆易燃或有毒氣體排出,Scrubber為降低后端處理的困擾與安全而專(zhuān)門(mén)設計的設備。local scrubber專(zhuān)屬PECVD單臺或多臺使用,可分為燃燒式, 加熱式, 等離子式, 搭配水洗!

Scrubber設備的分類(lèi)

scrubber根據不同的工藝,產(chǎn)生不同的尾氣;選用不同的處理方式的!

scrubber設備有電加熱式、燃氣式、吸附式、還有一種是用plasma式,其中吸附式要更換吸附桶,使用起來(lái)價(jià)格比較高,但維護起來(lái)是最方便的。

一般選用可用加熱水洗式,水洗加熱再水洗式。SiH4在燃燒后會(huì )反應成SIO2。NH3與水反應會(huì )產(chǎn)生結晶物。NF3, WF3,SIF4,C2F6的離子鍵會(huì )在燃燒后打開(kāi),再跟水反應成HF。
Scrubber設備的安裝位置

Scrubber設備一般安裝在設備真空泵pump和廢氣排出總管之間。有毒有害的廢氣經(jīng)過(guò)真空泵pump抽壓抽到Scrubber設備經(jīng)過(guò)處理后然后在排到廠(chǎng)務(wù)。
以上就是沃飛科技為大家簡(jiǎn)單講解的關(guān)于CVD設備的scrubber的作用和分類(lèi)以及安裝位置,希望能給大家提供參考。

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