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半導體工藝廢氣處理Local Scrubber的處理方式

2020-03-27 09:55:01        0

半導體工藝廢氣處理方式

依據廢氣處理的特性,在處理可分為四種處理方式:

1水洗式(處理腐蝕性氣體)

2氧化式(處理燃燒性,毒性氣體

3吸附式(干式)(依照吸附材種類(lèi)處理對應之廢氣

4等離子燃燒式(各類(lèi)型廢氣皆可處理)

各類(lèi)型之處理皆有其優(yōu)缺點(diǎn)及其適用范圍.如表一所示.

處理方式 適用范圍 優(yōu)點(diǎn) 缺點(diǎn)

水洗時(shí) 設備便宜處理方式簡(jiǎn)單 僅能處理水溶性氣體

電熱水洗式 應用范圍較水洗時(shí)廣 運轉成本高

干式 處理效率佳 不適用于容易堵塞或氣體流量較大的工藝;運轉成本高 等離子式 處理效率佳 成本高,不適用于粉塵過(guò)多之工藝,

其中 (1)水洗式廢氣處理是最便宜的簡(jiǎn)單的處理方式,但只能處理水溶性氣體;目前這類(lèi)設備用得相當廣泛,如MOCVD,PECVD,ICP等設備用NH3 Cl2,BCL3都用得到.

(2)氧化式廢氣處理則是利用高溫(火焰燃燒或者熱電偶加熱),使氣體達到氧化所需溫度,轉變?yōu)闆](méi)有危害性之氣體再排放,應用范圍較水洗式廣泛,但建造成本及運轉成本也較水洗式高;此類(lèi)設備在PECVD上用得很廣泛,如用到SiH4,PH3,B2H6,H2 ,CH4甚至NF3都可用此類(lèi)設備處理。

(3)吸附式則依照所需處理的廢氣種類(lèi),使用不同材質(zhì)的吸附料,讓廢氣通過(guò)吸附劑轉變?yōu)闆](méi)有危害性的氣體再排放,此類(lèi)系統的廢氣處理效率佳,但由于吸附劑讓氣體通過(guò)的通道由孔隙大小的限制,以及每組吸附劑都有其吸附處理的極限流量,因此不適用于容易堵塞或者氣體流量較大的工藝中,而導致吸附劑需經(jīng)常更換,使運轉成本更高;

(4)等離子式,其廢氣處理范圍最廣,處理效率佳,唯獨其成本較高,且同樣不適用于粉塵過(guò)多之工藝.


深圳沃飛科技有限公司是一家從事氣體應用系統工程的高新技術(shù)企業(yè),公司成立于2011年,注冊資金2180萬(wàn);專(zhuān)業(yè)為客戶(hù)提供大宗氣體系統、電子特氣系統、實(shí)驗室氣路系統、工業(yè)集中供氣系統、高純化學(xué)品供液系統、Local Scrubber尾氣處理系統等全套工程技術(shù)服務(wù)和配套產(chǎn)品的一站系統解決方案,公司于2018年榮獲“國家高新技術(shù)企業(yè)”認定。