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特種氣體輸送系統中氣體檢測報警裝置該如何放置

2021-06-03 09:00:04    責任編輯: 深圳沃飛科技     0

在半導體、集成電路、太陽(yáng)能光伏、液晶、微電子等行業(yè)領(lǐng)域中,特種氣體輸送系統是電子工廠(chǎng)中危險性重大的設施或場(chǎng)所。特種氣體是有著(zhù)易燃易爆、劇毒、腐蝕性等危險性質(zhì)的氣體,一旦特種氣體系統發(fā)生泄漏都可能造成人員、廠(chǎng)房、設備的嚴重損失。

如特種氣體中的硅烷(SiH4)為自燃性,一旦泄漏就會(huì )與空氣中的氧氣發(fā)生劇烈反應,開(kāi)始燃燒。砷烷為劇毒性,微量泄漏就可能導致人員的生命危險。因此,對系統設計的安全性要求十分嚴格,其中關(guān)于氣體檢測報警系統的設置是十分有必要的,避免氣體泄露等危險發(fā)生。


特種氣體檢測裝置種類(lèi):

(1) 自燃性、易燃性氣體檢測采用催化燃燒型檢測裝置、半導體檢測裝置、電化學(xué)檢測裝置。

(2) 毒性氣體檢測采用電化學(xué)檢測裝置。

(3) 根據使用場(chǎng)所的不同確定不同特種氣體采樣方式,正確選用擴散式檢測裝置、單點(diǎn)或多點(diǎn)吸人式氣體檢測裝置。



特種氣體檢測裝置的安裝位置規定:

1. 自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體氣瓶柜和閥門(mén)箱的排風(fēng)管口處;

2. 生產(chǎn)工藝設備的自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體閥門(mén)箱的排風(fēng)管口處,工藝設備的排風(fēng)管口處;

3. 生產(chǎn)工藝設備的特種氣體的廢氣處理裝置排風(fēng)出管口處;

4. 惰性氣體間可能產(chǎn)生窒息的區域;

5. 自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體設備間;

6. 其他可能發(fā)生泄漏的自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體的環(huán)境。

7. 當特種氣體相對密度小于或等于0.75時(shí),特種氣體探測器應同時(shí)設置在釋放源上方和廠(chǎng)房最高點(diǎn)易積氣處。當特種氣體相對密度大于0.75 時(shí),特氣體探測器應設置在釋放源下方離地面0.3m~0. 5m處。


以上,便是關(guān)于特種氣體輸送系統中氣體檢測報警裝置的安裝位置的簡(jiǎn)單介紹,希望能您帶來(lái)幫助,感謝您的閱讀,更多氣體資訊敬請關(guān)注我們!